可編程控制模塊

 

多設(shè)備雙線 RS-485/MODBUS RTU 通信方式

簡易流量控制安裝

 

在質(zhì)量流量測量基礎(chǔ)上，Compod™搭配了Sierra的Smart-Trak® 2質(zhì)量流量計(jì)或流量控制器使得設(shè)備網(wǎng)絡(luò)組態(tài)更加方便。通過開源RTU協(xié)議，Compod™也可以監(jiān)控或診斷流量控制器的內(nèi)部系統(tǒng)參數(shù)值。用戶在配備了Compod™后可以對Smart-Trak®質(zhì)量流量計(jì)和控制器進(jìn)行更復(fù)雜的控制，兩路數(shù)字輸出和一路模擬輸入可以對以下工藝參數(shù)進(jìn)行配置 

 

 

 

      • Gas mixing and blending

      • Batch control

      • Sensor driven leak testing

      • Process monitoring

      • Physical Vapor Deposition (Sputtering)

      • 壓力監(jiān)控及控制

      • 氣體比率控制

      • 內(nèi)部閥門性能監(jiān)測

      • 多報(bào)警信號設(shè)置

      • 客戶自定義流量啟動停止配置

      • 氣體累計(jì)及可調(diào)脈沖輸出設(shè)置

 

 

加配我們的創(chuàng)新Compod模塊到Smart-Trak 2產(chǎn)品上，簡單，節(jié)省費(fèi)用

加載Compod后Smart-Trak 2可完整組網(wǎng)，通過RS-485 Modbus RTU通信。成為了客戶低成本的強(qiáng)大多功能氣體控制系統(tǒng)的選擇

具備搭接多臺MFC到同一網(wǎng)絡(luò)，收發(fā)數(shù)據(jù)，報(bào)警命令設(shè)置及遠(yuǎn)程診斷，數(shù)據(jù)記錄功能

Smart-Trak 2 Compod模塊為復(fù)雜的多氣體控制系統(tǒng)大大降低成本