MFS2200D
實現潔凈室內多層第6代超大型液晶玻璃基板箱體內的高速搬運！
大型液晶玻璃基板搬運機器人
負載：50KG
動作范圍：1780mm
控制柜：DX100
用途：搬運、潔凈室
特點：
適用于第6代（1500*1850mm）超大型液晶玻璃基板的高速搬運。
高速、穩定搬運，提高生產效率。
高度柔性動作，大幅度削減配套設備費用。
長期保持高潔凈度，降低運營成本。
大幅縮短生產線建立時間。
| 項目 |
規格 |
| 名稱 |
MOTOMAN-MFS2200D-3600 |
| 機型 |
YR-MFS050D-A00 |
| 構造 |
水平多關節形(6個自由度) |
| 負載 |
50kg/手臂 |
| 重復定位精度*1 |
±0.2mm |
| 動作范圍 |
U軸(上下軸) |
3600mm |
| S軸(回轉軸) |
-180.5°~+180.5° |
| L，R軸(前后軸) |
-1780mm~+1780mm |
| 左右運作 |
-50mm~+50mm |
| 扭動運作 |
-6°~+6°(上下軸100~1750mm范圍)
-0.5°~+0.5°(以上范圍以外) |
| ***大速度 |
U軸(上下軸) |
950mm/s |
| S軸(回轉軸) |
1.57rad/s,90°/s |
| L，R軸(前后軸) |
***大3600mm/s |
| 容許力矩 |
L，R軸(前后軸) |
353N·m |
| 容許慣性力矩(CD2/4) |
L，R軸(前后軸) |
71kg·m2 |
| 標準噴涂色 |
孟塞爾munsell N9.5 |
| 本體質量 |
2430kg |
| 潔凈度*2 |
ISO4 |
| 安置環境 |
溫度 |
15~25°C |
| 濕度 |
20~80%RH(不結露) |
| 振動 |
4.9m/s2以下 |
| 其他 |
·環境沒有引火性及腐蝕性氣體，液體
·遠離水
·遠離電子噪音源
·安裝機器人水平面水平度在0.5mm以下 |
| 電源容量*3 |
12.0kVA |
*1：依據JIS B8432標準
*2：潔凈度依據ISO-14644標準。在0.4m/s以上的向下流風速環境下，來確保工件搬運面以上潔凈度。
*3：根據用途、作業形式會有所不同。
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