檢測對象

更換傳感器，能夠檢測各種氣體

檢測范圍

根據規格而定

檢測原理

根據規格而定

檢測方式

泵吸引式

應用行業

石油化工、半導體制造等

產品描述：通過更換傳感器單元可以檢測多種氣體

可通過PDA讀取數據

01.產品特點

●  通過更換傳感器就可以檢測多種氣體的半導體材料氣體檢測器

●  傳感器經過校準和交付，無需現場氣體校準。此外，無需工具即可輕松更換傳感器

●  小巧·輕便的設計

●  通過LCD顯示屏輕松了解氣體濃度，報警狀態和錯誤信息

●  采樣流量的自動控制功能

●  當插入與設置不同的傳感器時，傳感器具有防止錯誤插入的功能

●  通過連接PDA，可以獲取存儲在檢測單元中的數據

●  轉換器單元（選件）可用于檢測NF₃和CCl₂

●  符合CE標準

●  符合SEMI標準

02.連接方式

03.產品參數

04.對應氣體一覽表

05.可連接報警器

●  UV-810（多點檢測）

●  V3系列（面板嵌入式）

●  NV-100M（單點檢測）