大動作范圍：***大搬運尺寸達730*920mm雙腕玻璃基板搬運機器人。
手臂采用連桿機構實現高鋼性。
采用真空內傳送帶驅動實現低放出氣體性能。
手臂可內置基板傳感器用配線。
| 項目 |
規格 |
備注 |
| 名稱 |
SEMISTAR-VD95D |
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| 機型 |
XU-RVD1450D6-A10(配傳感電纜) |
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| 構造 |
水平多關節形(4個自由度) |
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| 動作范圍 |
L，R軸(伸縮) |
2300mm |
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S軸(旋轉) |
-170°~+170° |
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U軸(升降) |
150mm |
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動作時間*1
(***高速度運作時) |
L，R軸(伸縮) |
3.2秒以下 |
2300mm伸縮距離 |
| S軸(回轉) |
3.8秒以下 |
340deg旋轉距離(但L，R=0) |
| U軸(升降) |
2.5秒以下 |
150mm升降距離 |
| 重復定位精度*2 |
各軸±0.3mm |
抓手安裝部分中心位置時 |
| 手臂抖動精度 |
±0.3mm以下 |
水平方向，抓手安裝部分中心位置時 |
| 負載 |
95KG/手臂 |
含抓手重量 |
| 容許慣性力矩(CD2/4) |
***大118kg·m2 |
含抓手重量，抓手安裝部分中心位置時 |
| 耐真空度 |
1*10-6Pa |
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| 本體質量 |
1500kg |
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| 適用控制柜式樣 |
ERDR-VD0095D-A00 |
三相AC200V，3.0kVA |
*1：動作節拍不保證帶有基板時搬運速度。由于抓手的形狀及抓手的安裝部分的鋼性產生共振時，會影響動作節拍，請重新設定。
*2：依據JIS B8432標準的動作重復定位精度。但有無工件時負載變動以及使用速度的差異、溫度變化的影響不考慮在內。
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