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[VIP第7年] 指數:8
通過認證 
將操作部位、LED燈（僅限帶燈型）、開關部作為一套發貨。
歐姆龍安全產品 緊急停止用按鈕開關成套組合訂購型號A22NE-MP-PD13-N
將操作部位、LED燈（僅限帶燈型）、開關部作為一套發貨。
| 形狀 | 動作功能 | 保護 結構 |
接點結構 * | 成套型號 | 操作 部位 顏色 |
|---|---|---|---|---|---|
 |
中型推挽φ40 (A22NE-MP-PD□□-N) |
IP65 耐油型 |
2NC | A22NE-MP-PD02-N | 紅色 |
| 2NC、1NO | A22NE-MP-PD12-N | ||||
| 3NC | A22NE-MP-PD03-N | ||||
| 2NC、2NO | A22NE-MP-PD22-N | ||||
| 3NC、1NO | A22NE-MP-PD13-N | ||||
| 4NC | A22NE-MP-PD04-N | ||||
 |
中型推挽φ40 (A22NE-MP-PD□□-N-69K) |
IP69K | 2NC | A22NE-MP-PD02-N-69K | |
| 2NC、1NO | A22NE-MP-PD12-N-69K | ||||
| 3NC | A22NE-MP-PD03-N-69K | ||||
| 2NC、2NO | A22NE-MP-PD22-N-69K | ||||
| 3NC、1NO | A22NE-MP-PD13-N-69K | ||||
| 4NC | A22NE-MP-PD04-N-69K | ||||
 |
小型旋轉復位φ30 (A22NE-S-PD□□-N) |
IP65 耐油型 |
2NC | A22NE-S-PD02-N | |
| 2NC、1NO | A22NE-S-PD12-N | ||||
| 3NC | A22NE-S-PD03-N | ||||
| 2NC、2NO | A22NE-S-PD22-N | ||||
| 3NC、1NO | A22NE-S-PD13-N | ||||
| 4NC | A22NE-S-PD04-N | ||||
 |
中型旋轉復位φ40 (A22NE-M-PD□□-N) |
IP65 耐油型 |
2NC | A22NE-M-PD02-N | |
| 2NC、1NO | A22NE-M-PD12-N | ||||
| 3NC | A22NE-M-PD03-N | ||||
| 2NC、2NO | A22NE-M-PD22-N | ||||
| 3NC、1NO | A22NE-M-PD13-N | ||||
| 4NC | A22NE-M-PD04-N | ||||
 |
大型旋轉復位φ60 (A22NE-L-PD□□-N) |
IP65 耐油型 |
2NC | A22NE-L-PD02-N | |
| 2NC、1NO | A22NE-L-PD12-N | ||||
| 3NC | A22NE-L-PD03-N | ||||
| 2NC、2NO | A22NE-L-PD22-N | ||||
| 3NC、1NO | A22NE-L-PD13-N | ||||
| 4NC | A22NE-L-PD04-N |
*也備有上述之外的接點結構。[1NC]、[1NC、1NO]、[1NC、2NO] 詳情請垂詢歐姆龍代表處。
| 形狀 | 動作功能 | 保護 結構 |
接點結構* | LED燈電壓 | 成套型號 | 操作 部位 顏色 |
|---|---|---|---|---|---|---|
 |
中型旋轉復位φ40 (A22NE-M-PD□□-C) |
IP65 | 2NC | 24V AC/DC | A22NE-M-PD02-C | 紅色 |
| 2NC、1NO | A22NE-M-PD12-C | |||||
| 3NC | A22NE-M-PD03-C | |||||
| 2NC、2NO | A22NE-M-PD22-C | |||||
| 3NC、1NO | A22NE-M-PD13-C | |||||
| 4NC | A22NE-M-PD04-C |
*也備有上述之外的接點結構。[1NC]、[1NC、1NO]、[1NC、2NO] 詳情請垂詢歐姆龍代表處。
| 大小 | 小型(φ30) | 中型(φ40) | 大型(φ60) | |
|---|---|---|---|---|
| 動作功能 | 保護結構 | 單品訂購型號 | 單品訂購型號 | 單品訂購型號 |
| 推挽 | IP65耐油型 | A22NE-MP-N |
||
| IP69K | A22NE-MP-N-69K |
|||
| 旋轉復位 | IP65耐油型 | A22NE-S-N |
A22NE-M-N |
A22NE-L-N |
| A22NE-MRO-N A22NE-MRO-N-RD  |
||||
| A22NE-MRS-N A22NE-MRS-N-RD  |
||||
| 大小 | 中型(φ40) | |
|---|---|---|
| 動作功能 | 密封性 | 單品訂購型號 |
| 旋轉復位 | IP65 | A22NE-M-L |
| 形狀 | 發光顏色 | 額定電壓 | 型號 | 備注 |
|---|---|---|---|---|
 |
紅色 | 24V AC/DC | A22NZ-L-RC | 帶燈型的成套型號中配備。 在更換時使用。 |
注. 關于螺釘端子臺型、Push-In Plus端子臺型共通的附件，請參考樣本的“共通附件和工具（另售） ”。
將操作部位、LED燈（僅限帶燈型）、安裝臺、亮燈部位（僅限帶燈型）、開關部作為一套發貨。
| 形狀 | 動作功能 | 保護 結構 |
接點結構 * |
成套型號 | 操作 部位 顏色 |
|---|---|---|---|---|---|
 |
中型推挽φ40 (A22NE-MP-P□□2-N) |
IP65 耐油 型 |
1NC (1) | A22NE-MP-P002-N | 紅色 |
| 1NC、1NO (2) |
A22NE-MP-P102-N | ||||
| 2NC (2) | A22NE-MP-P202-N | ||||
| 2NC、1NO (3) |
A22NE-MP-P212-N | ||||
| 3NC (3) | A22NE-MP-P222-N | ||||
 |
中型推挽φ40 (A22NE-MP-P□□2-N-69K) |
IP69K | 1NC (1) | A22NE-MP-P002-N-69K | |
| 1NC、1NO (2) |
A22NE-MP-P102-N-69K | ||||
| 2NC (2) | A22NE-MP-P202-N-69K | ||||
| 2NC、1NO (3) |
A22NE-MP-P212-N-69K | ||||
| 3NC (3) | A22NE-MP-P222-N-69K | ||||
 |
小型旋轉復位φ30 (A22NE-S-P□□2-N) |
IP65 耐油 型 |
1NC (1) | A22NE-S-P002-N | |
| 1NC、1NO (2) |
A22NE-S-P102-N | ||||
| 2NC (2) | A22NE-S-P202-N | ||||
| 2NC、1NO (3) |
A22NE-S-P212-N | ||||
| 3NC (3) | A22NE-S-P222-N | ||||
 |
中型旋轉復位φ40 (A22NE-M-P□□2-N) |
1NC (1) | A22NE-M-P002-N | ||
| 1NC、1NO (2) |
A22NE-M-P102-N | ||||
| 2NC (2) | A22NE-M-P202-N | ||||
| 2NC、1NO (3) |
A22NE-M-P212-N | ||||
| 3NC (3) | A22NE-M-P222-N | ||||
 |
大型旋轉復位φ60 (A22NE-L-P□□2-N) |
1NC (1) | A22NE-L-P002-N | ||
| 1NC、1NO (2) |
A22NE-L-P102-N | ||||
| 2NC (2) | A22NE-L-P202-N | ||||
| 2NC、1NO (3) |
A22NE-L-P212-N | ||||
| 3NC (3) | A22NE-L-P222-N |
*（ ）中表示開關部數。
| 形狀 | 動作功能 | 保護 結構 |
接點結構* | LED 燈電壓 |
成套型號 | 操作 部位 顏色 |
|---|---|---|---|---|---|---|
 |
中型旋轉復位φ40 (A22NE-M-P□□2-A) |
IP65 | 1NC(1) | 6V AC/DC |
A22NE-M-P002-A | 紅色 |
| 1NC、 1NO(2) |
A22NE-M-P102-A | |||||
| 2NC(2) | A22NE-M-P202-A | |||||
 |
中型旋轉復位φ40 (A22NE-M-P□□2-B) |
1NC(1) | 12V AC/DC |
A22NE-M-P002-B | ||
| 1NC、 1NO(2) |
A22NE-M-P102-B | |||||
| 2NC(2) | A22NE-M-P202-B | |||||
 |
中型旋轉復位φ40 (A22NE-M-P□□2-C) |
1NC(1) | 24V AC/DC |
A22NE-M-P002-C | ||
| 1NC、 1NO(2) |
A22NE-M-P102-C | |||||
| 2NC(2) | A22NE-M-P202-C | |||||
 |
中型旋轉復位φ40 (A22NE-M-P□□2-D) |
1NC(1) | 100/110/ 120V AC |
A22NE-M-P002-D | ||
| 1NC、 1NO(2) |
A22NE-M-P102-D | |||||
| 2NC(2) | A22NE-M-P202-D | |||||
 |
中型旋轉復位φ40 (A22NE-M-P□□2-E) |
1NC(1) | 220/230/ 240V AC |
A22NE-M-P002-E | ||
| 1NC、 1NO(2) |
A22NE-M-P102-E | |||||
| 2NC(2) | A22NE-M-P202-E |
*（ ）中表示開關部數。
| 形狀 | 接點結構(開關部數) | 型號 |
|---|---|---|
 |
1NC(1) | A22NE-M-P002-N-B |
| 1NC、1NO(2) | A22NE-M-P102-N-B | |
| 2NC(2) | A22NE-M-P202-N-B |
操作部位、LED燈、安裝臺、開關部、亮燈部位可以單獨訂購。如果需要購買成套組合型號中不提供的單元，可將這些部件單獨訂購后組裝使用。也可將其作為維護部件的庫存。
| 大小 | 小型(φ30) | 中型(φ40) | 大型(φ60) | |
|---|---|---|---|---|
| 動作功能 | 密封性 | 單品訂購型號 | 單品訂購型號 | 單品訂購型號 |
| 推挽 | IP65耐油型 | A22NE-MP-N |
||
| IP69K | A22NE-MP-N-69K |
|||
| 旋轉復位 | IP65耐油型 | A22NE-S-N |
A22NE-M-N |
A22NE-L-N |
| A22NE-MRO-N A22NE-MRO-N-RD  |
||||
| A22NE-MRS-N A22NE-MRS-N-RD  |
||||
| 大小 | 中型(φ40) | |
|---|---|---|
| 動作功能 | 密封性 | 單品訂購型號 |
| 旋轉復位 | IP65 | A22NE-M-L |
| 形狀 | 發光顏色 | 額定電壓 | 型號 | 備注 |
|---|---|---|---|---|
 |
紅色 | 6V AC/DC | A22NZ-L-RA | A22N、A22NE-P 專用的LED燈。 帶燈型的成套型 號中配備。 在更換等時使用。 |
| 12V AC/DC | A22NZ-L-RB | |||
| 24V AC/DC | A22NZ-L-RC | |||
| 100/110/120V AC | A22NZ-L-RD | |||
| 200/220/230/240V AC | A22NZ-L-RE |
| 種類 | 形狀 | 接點規格 | 型號 | 備注 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 開關部 (1接點) |
 |
1NO接點 (藍色) |
標準負載 | A22NZ-S-P1AN | 通常情況下已配備。 在添加或更換時使用。 |
| 1NC接點 (紅色) |
標準負載 | A22NZ-S-P1BN | |||
| 開關部 (2接點) |
 |
2NC接點 (紅色) |
標準負載 | A22NZ-S-P2BN | 在添加或更換時使用。 |
| 1NO/1NC 接點 (白色) |
標準負載 | A22NZ-S-P2CN | |||
| 亮燈部位 |  |
6V AC/DC | A22NZ-T-APN | 帶燈型的成套型號中配備。 在更換等時使用。 |
|
| 12V AC/DC | A22NZ-T-BPN | ||||
| 24V AC/DC | A22NZ-T-CPN | ||||
| 100/110/120V AC | A22NZ-T-DPN | ||||
| 200/220/230/240V AC | A22NZ-T-EPN | ||||
| 安裝臺 |  |
A22NZ-H-02 | A22NE-P專用的安裝臺。 成套型號中配備。 單獨購買和安裝開關部或亮 燈部位等時使用。 |
||
| 控制盒 |  |
1孔黃色盒 | A22NZ-A-B01Y | 樹脂材質。 可與1接點規格的開關部組 合。(不可與2接點規格的 開關部組合。) * |
|
注. 關于螺釘端子臺型、Push-In Plus端子臺型共通的附件，請參考樣本的“共通附件和工具（另售） ”。
*控制盒（A22NZ-A-B01Y）不可與φ90的緊急停止用雕刻板（A22Z-3476-1）及保護圈（A22Z-EG□）同時使用。
將操作部位、LED燈（僅限帶燈型）、安裝臺、開關部、鎖板作為一套發貨。
| 形狀 | 動作功能 | 保護結構 | 接點結構*1 | 成套型號 | 操作部位 顏色 |
|---|---|---|---|---|---|
 |
中型推挽 φ40 (A22E-MP) |
IP65 耐油型 |
1NC(1) | A22E-MP-01 | 紅色 |
| 1NC、1NO(2) | A22E-MP-11 | ||||
| 2NC(2) | A22E-MP-02 | ||||
 |
小型旋轉復位 φ30 (A22E-S) |
1NC(1) | A22E-S-01 *2 | ||
| 1NC、1NO(2) | A22E-S-11 *2 | ||||
| 2NC(2) | A22E-S-02 *2 | ||||
| 2NC、1NO(3) | A22E-S-12 *2 | ||||
| 3NC(3) | A22E-S-03 *2 | ||||
 |
中型旋轉復位 φ40 (A22E-M) |
1NC(1) | A22E-M-01 *2 | ||
| 1NC、1NO(2) | A22E-M-11 *2 | ||||
| 2NC(2) | A22E-M-02 *2 | ||||
| 2NC、1NO(3) | A22E-M-12 *2 | ||||
| 3NC(3) | A22E-M-03 *2 | ||||
 |
大型旋轉復位 φ60 (A22E-L) |
1NC(1) | A22E-L-01 *2 | ||
| 1NC、1NO(2) | A22E-L-11 *2 | ||||
| 2NC(2) | A22E-L-02 *2 |
*1. （ ）中表示開關部數。
*2. 已通過韓國S-mark認證的型號。
注. 也有黃色型（不可用于緊急停止用途）。請咨詢經銷商。
| 形狀 | 動作功能 | 保護結構 | 接點結構*1 | 成套型號 | 操作部位 顏色 |
|---|---|---|---|---|---|
 |
中型旋轉復位 φ40 帶EMO顯示 |
IP65 耐油型 |
1NC(1) | A22E-M-01-EMO *2 | 紅色 |
| A22E-M-01-EMO-RD | |||||
| 1NC、1NO(2) | A22E-M-11-EMO *2 | ||||
| A22E-M-11-EMO-RD | |||||
| 2NC(2) | A22E-M-02-EMO *2 | ||||
| A22E-M-02-EMO-RD | |||||
| 2NC、1NO(3) | A22E-M-12-EMO *2 | ||||
| A22E-M-12-EMO-RD | |||||
| 3NC(3) | A22E-M-03-EMO *2 | ||||
| A22E-M-03-EMO-RD | |||||
 |
中型旋轉復位 φ40 帶EMS顯示 |
1NC(1) | A22E-M-01-EMS *2 | ||
| A22E-M-01-EMS-RD | |||||
| 1NC、1NO(2) | A22E-M-11-EMS *2 | ||||
| A22E-M-11-EMS-RD | |||||
| 2NC(2) | A22E-M-02-EMS *2 | ||||
| A22E-M-02-EMS-RD | |||||
| 2NC、1NO(3) | A22E-M-12-EMS *2 | ||||
| A22E-M-12-EMS-RD | |||||
| 3NC(3) | A22E-M-03-EMS *2 | ||||
| A22E-M-03-EMS-RD |
*1. （ ）中表示開關部數。
*2. 已通過韓國S-mark認證的型號。
注. 開關塊的顏色為NO接點（a接點）：黑色；NC接點（b接點）：紅色。照片為2NC接點（2b接點）的結構。
| 形狀 | 動作功能 | 保護 結構 |
接點結構*1 | LED燈電壓 | 成套型號 | 操作 部位 |
|---|---|---|---|---|---|---|
 |
按下鎖定 旋轉復位型 φ40 (A22E) 亮燈部位 (直接照明) |
IP65 | 1NC(1) | 6V AC/DC | A22EL-M-6A-01 *2 | 紅色 |
| 12V AC/DC | A22EL-M-12A-01 *2 | |||||
| 24V AC/DC | A22EL-M-24A-01 *2 | |||||
| 1NC、1NO (2) |
6V AC/DC | A22EL-M-6A-11 *2 | ||||
| 12V AC/DC | A22EL-M-12A-11 *2 | |||||
| 24V AC/DC | A22EL-M-24A-11 *2 | |||||
| 2NC(2) | 6V AC/DC | A22EL-M-6A-02 *2 | ||||
| 12V AC/DC | A22EL-M-12A-02 *2 | |||||
| 24V AC/DC | A22EL-M-24A-02 *2 | |||||
 |
按下鎖定 旋轉復位型 φ40 (A22E) 亮燈部位 (減壓照明) |
1NC(1) | 100V AC | A22EL-M-T1-01 | ||
| 200V AC | A22EL-M-T2-01 | |||||
| 1NC、1NO (2) |
100V AC | A22EL-M-T1-11 | ||||
| 200V AC | A22EL-M-T2-11 | |||||
| 2NC(2) | 100V AC | A22EL-M-T1-02 | ||||
| 200V AC | A22EL-M-T2-02 |
*1. （ ）中表示開關部數。
*2. 已通過韓國S-mark認證的型號。
| 形狀 | 接點結構(開關部數) | 型號 |
|---|---|---|
 |
1NC(1) | A22E-M-01B * |
| 1NC、1NO(2) | A22E-M-11B * | |
| 2NC(2) | A22E-M-02B * |
注. 控制盒使用A22Z-B101Y。
*已通過韓國S-mark認證的型號。
操作部位、LED燈、安裝臺、開關部可以單獨訂購。如果需要購買成套組合型號中不提供的單元，可將這些部件單獨訂購后組裝使用。也可將其作為維護部件的庫存。
| 大小 | 小型(φ30) | 中型(φ40) | 大型(φ60) | |
|---|---|---|---|---|
| 動作功能 | 密封性 | 單品訂購型號 | 單品訂購型號 | 單品訂購型號 |
| 推挽 | IP65耐油型 | A22E-MP |
||
| 旋轉復位 | A22E-S |
A22E-M |
A22E-L |
|
| A22E-M-EMO A22E-M-EMO-RD  |
||||
| A22E-M-EMS A22E-M-EMS-RD  |
||||
| 大小 | 中型(φ40) | |
|---|---|---|
| 動作功能 | 密封性 | 單品訂購型號 |
| 旋轉復位 | IP65 | A22EL-M |
| 形狀 | 發光顏色 | 額定電壓 | 型號 | |
|---|---|---|---|---|
 |
紅色 | 標準 | 6V AC/DC | A22-6AR |
| 12V AC/DC | A22-12AR | |||
| 24V AC/DC | A22-24AR | |||
注. 亮燈部位（減壓照明）的LED燈請使用A22-24AR。
| 分類 | 不帶燈用 | 直接照明用 | |
|---|---|---|---|
| 形狀 |  |
 |
|
| 接點規格和結構(開關部數) | 型號 | 型號 | |
| 標準負載 | 1NC(1) | A22-01M | A22L-01M |
| 1NC、1NO(2) | A22-11M | A22L-11M | |
| 2NC(2) | A22-02M | A22L-02M | |
| 分類 | 照明用 100V AC | 照明用 200V AC | |
|---|---|---|---|
| 形狀 |  |
 |
|
| 接點規格和結構(開關部數) | 型號 | 型號 | |
| 標準負載 | 1NC(1) | A22L-01M-T1 | A22L-01M-T2 |
| 1NC、1NO(2) | A22L-11M-T1 | A22L-11M-T2 | |
| 2NC(2) | A22L-02M-T1 | A22L-02M-T2 | |
注. 亮燈部位（減壓照明）的LED燈請使用A22-24AR。
| 種類 | 形狀 | 接點規格 | 型號 | 備注 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 開關部 (1接點) |
 |
1NO接點 (黑色) |
標準負載 | A22-10 | 通常情況下已配備。 在添加或更換等時使用。 |
| 微小負載 | A22-10S | ||||
| 1NC接點 (紅色) |
標準負載 | A22-01 | |||
| 微小負載 | A22-01S | ||||
| 開關部 (2接點) |
 |
2NO接點 (黑色) |
標準負載 | A22-20 | 在添加或更換等時使用。 |
| 微小負載 | A22-20S | ||||
| 2NC接點 (紅色) |
標準負載 | A22-02 | |||
| 微小負載 | A22-02S | ||||
| 1NC+1NO 接點(黑 色/紅色) |
標準負載 | A22-11 | |||
| 微小負載 | A22-11S | ||||
| 亮燈部位 |  |
直接照明 | A22-TN | 更改照明方式時使用。 | |
| 減壓照明 | 100V AC | A22-T1 | |||
| 200V AC | A22-T2 | ||||
| 安裝臺 |  |
A22-3200 | 通常情況下已配備。 單獨購買和安裝開關 部或亮燈部位等時使用。 |
||
| 鎖板 |  |
A22Z-3380 | 固定開關部的擺桿時使用。 | ||
| 控制盒 |  |
1孔黃色盒 | A22Z-B101Y | 樹脂材質。 A22Z-B101Y中不可使用2NO、 2NC、1NC+1NO的2接點開關部。 |
|
| A22Z-B201Y | |||||
注. 關于螺釘端子臺型、Push-In Plus端子臺型共通的附件，請參考樣本的“共通附件和工具（另售） ”。
* 控制盒（A22NZ-B101Y、A22NZ-B201Y）不可與φ90的緊急停止用雕刻板（A22Z-3476-1）及保護圈（A22Z-EG□）同時使用。
| 種類 | 形狀 | 分類 | 型號 | 備注 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 緊急停止 用雕刻板 |
 |
黃底黑字φ60 | A22Z-3466-1 | 需要滿足面板間的保護結構時， 請與墊圈橡膠組合使用。*1 |
|
| 黃底黑字φ90 | A22Z-3476-1 | 需要滿足面板間的保護結構時， 請與墊圈橡膠組合使用。*1*3 |
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黃底黑字φ60 | A22Z-3466-2 | 需要滿足面板間的保護結構時， 請與墊圈橡膠組合使用。*1 |
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| 面板插頭 |  |
圓形 | A22Z-3530 | 填補為增設而預先切割的面板孔。 顏色為黑色。 |
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| 連接器 |  |
控制盒用 電纜直徑 |
φ7～9用 | A22Z-3500-1 | 塑料材質，從開關盒引出電纜時使用。 (參考樣本) |
| φ9～11用 | A22Z-3500-2 | ||||
| φ25用 限位圈 |
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A22Z-R25 | 安裝至孔徑φ25的面板時使用。 (參考樣本) 材質：橡膠 保護結構：IP65 |
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| φ30用 樹脂附件 |
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A22Z-A30 | 安裝至孔徑φ30的面板時使用。 (參考樣本) 產品附帶墊圈橡膠(A22Z-R)。 |
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| 限位圈 |  |
A22Z-3360 | 本體中配備止轉片，在需要更高強度 的止轉時使用。(參考樣本) |
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| 緊固扳手 |  |
A22Z-3905 | 從面板背面擰緊安裝圈以及拆卸帶燈 型罩蓋時使用。 |
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| EMO用保 護圈套件 (黃色) |
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A22Z-EG1 | 將符合SEMI-S2的保護圈和 EMERGENCY OFF銘板與套件 A22E一起使用，可滿足 SEMI-S2/SEMATECH APPLICATION GUIDE FOR SEMI S2。 (緊急斷開用)*2*3 |
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| EMO用 保護圈 (黃色) |
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EMERGENCY OFF 銘板不是套件。 |
A22Z-EG10 | 與A22E的帶EMO顯示型一起使用， 可滿足SEMIS2/SEMATECH APPLICATION GUIDE FOR SEMIS2。(緊急斷開用)*2 |
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| EMS用保 護圈套件 (白色) |
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A22Z-EG1-W | 將符合SEMI-S2的保護圈和 EMERGENCY STOP 銘板與套件A22E一起使用， 可滿足SEMI-S2/ SEMATECH APPLICATION GUIDEFOR SEMI S2。 (緊急停止用）*2*3 |
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| EMS用 保護圈 (白色) |
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EMERGENCY STOP 銘板不是套件。 |
A22Z-EG10-W | 與A22E的帶EMS顯示型一起使用， 可滿足SEMIS2/SEMATECH APPLICATION GUIDE FOR SEMIS2。(緊急停止用)*3 |
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| 保護圈 (黃色) |
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隔板單元 無 | A22Z-EG2 | SEMI-S2/SEMATECH APPLICATION GUIDE FOR SEMI符合S2。 (緊急斷開用）*2*3 請與A22E緊急停止 按鈕開關一起使用。 |
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| 隔板單元 附帶1塊 | A22Z-EG21 | ||||
| 隔板單元 附帶2塊 | A22Z-EG22 | ||||
| EMO用保 護圈套件 (黃色) |
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A22Z-EG3 | 將符合SEMI-S2的保護圈和 EMERGENCY OFF銘板與套件 A22E一起使用，可滿足 SEMI-S2/SEMATECH APPLICATION GUIDEFOR SEMI S2。 (緊急斷開用）*2*3 |
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| 橡膠墊圈 |  |
A22Z-R | 與附件組合使用。 10片裝。 |
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*1. 使用緊急停止用雕刻板時，面板厚度請控制在1～4㎜的范圍內。
*2. 保護圈為SEMI的個別標準中要求的設備專用。請勿用于其他用途（機床、印刷機、工業機械等機械裝置的緊急停止用開關）。
*3. 控制盒不可與φ90的緊急停止用雕刻板（A22Z-3476-1）及保護圈（A22Z-EG□）同時使用。
注1. A22Z-EG1的附件：EMERGENCY OFF銘牌1塊、橡膠墊圈2片、限位圈1個。
2. A22Z-EG10的附件：橡膠墊圈1片、限位圈1個（無銘牌）。
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