該產品為外部先導規格，可真空使用。
鋁制一體型集裝式可安裝DIN導軌。
集裝型號：VV3QZ12，VV3QZ15，VV3QZ22，VV3QZ25，
VV3QZ32，VV3QZ35

系列	流量特性 2→3（A→R） C［dm3/（ sbar）］	流量特性 2→3（A→R） b	流量特性 2→3（A→R） Cv	消耗功率（W）	可真空使用
VQZ100	0.56	0.30	0.14	0.35（標準） 0.9（高壓型、 高速響應型）	－100kPa
VQZ200	1.7	0.36	0.45	0.35（標準） 0.9（高壓型、 高速響應型）	－100kPa
VQZ300	3.0	0.33	0.72	0.35（標準） 0.9（高壓型、 高速響應型）	－100kPa