DRYVAC是萊寶公司干式壓縮螺桿真空泵品種中的一個新的系列,它根據具體應用可提供各種功能。萊寶DRYVAC系列在開發時考慮了光電行業、平板顯示和加工工業市場的特殊要求。所有DRYVAC泵型都采用水冷,非常緊湊的外形并且易于與系統組合,尤其是與業經考驗的萊寶RUVAC WH(U)、WS(U)和WA(U)系列羅茨泵實現組合。
萊寶DRYVAC螺桿原理的優點
由于氣體在螺桿泵內的氣路短而簡單,因此螺桿真空泵對所抽異物相當不敏感。這確保了在工業應用條件下更長的系統正常運行時間。
從泵入口到其排氣口之間直而短的氣路縮短了氣體停留時間,因此減少了泵內潛在沉積物。通過采用吹掃氣(例如氣鎮),可有效除去沉積物、顆粒和冷凝液。
與萊寶螺桿真空泵SP系列一樣,DRYVAC的開發也是用于高要求的應用。此外DRYVAC的應用范圍更是擴展到光電和平板顯示的生產工藝。
適合應用特點的DRYVAC版本說明
萊寶DRYVAC DV和DV S對100mbar至大氣壓段的抽速進行了優化。因此DV和DVS型適合快速抽空應用(如進樣室),或大腔室抽空。
萊寶DRYVAC DV C型在惡劣用途可以提供更高可靠性,其優化的性能適合光電和平板顯示生產工藝常用的工藝氣體。萊寶DRYVAC DV C型對氫氣具有高抽速,并且由于集成了吹掃氣系統,對于粉塵不敏感。
萊寶DRYVAC的主要特點:設計緊湊、易于布置成水平流的泵組。萊寶DV650比市場上同級別產品的功耗低30%。
萊寶DRYVAC平臺的所有版本可提供不同類型的配置:對于DRYVAC -r,泵的變頻器外置,可集成于外部電氣柜內;對于其他泵型,變頻器集成在泵上。DRYVAC-i型配置了帶有觸屏顯示器和軟件用戶界面的PLC,使得操作和配置更加簡單。S-i型標配Profibus或24V I/O接口(可根據要求提供其他接口)與系統對接。另外,S-i型安置在有腳輪、高度可調地腳和Harting插座/插頭的完整外殼內。
DRYVAC DV450和DV650是單臺螺桿泵,DV1200則配備了兩個并聯運行的螺桿泵。
DRYVAC DVR5000 C-i是DRYVAC -i的特殊版本。該工藝泵由DRYVAC DV650 C螺桿泵和RUVAC WH 2500羅茨泵組成,整體進行了集成控制。與螺桿泵一樣,WH 2500也是由變頻器操縱和控制(Max. 100Hz)。泵組對氮氣的有效抽速約為3800立方米/小時。
萊寶DRYVAC系列干式螺桿泵設計特點
- 創新式水冷(萊寶***),泵溫低
- 完全密封的螺桿和羅茨泵,只與外部形成靜密封
- 機械和電氣集成簡單
- 通過監視運行溫度、排氣壓力和電流消耗提供集成保護功能
- 占地面積小
- 能耗低,歸功于優化的轉子線形以及符合IE2 效率等級要求的創新電機設計
- 適用電壓和頻率范圍大:380 -480V,50/ 60Hz
- NRTL認證
- 符合RoHS
萊寶DRYVAC DV系列干式螺桿泵與萊寶SCREWLINE SP系列設計主要設計不同點在于萊寶DRYVAC為螺桿兩端軸承支撐,SCREWLINE為單側軸承支撐(懸臂支撐)設計
客戶得益
- 緊湊的螺桿干泵,占用空間小
- 系統集成靈活性非常高
- 噪音低
- 可靠性高
- 集成的自我監控功能
- 無意外停機,維護要求低
萊寶DRYVAC DV系列干式螺桿泵典型應用
- 太陽能鍍膜(SiN、ZnO、a-Si/μ-Si、CdTe、CIS/CIGS等)
- 進樣室
- 拉單晶/多晶硅鑄錠
- 顯示器和玻璃鍍膜
- 耐磨涂層鍍膜
- 帶鋼鍍膜
- 工業爐
- 冶金
- 真空干燥
- 電子束焊接
萊寶DRYVAC DV650干式螺桿真空泵尺寸圖
DRYVAC DV650的抽速曲線