Swagelok世偉洛克 ALD3 ALD6 UHP 隔膜閥-工博士湘景閥門儀表服務商
世偉洛克是半導體芯片制造應用的全球技術領導者和解決方案提供商，同時也是 ALD 閥門技術的鼻祖。我們的 ALD 超高純 (UHP) 閥具有以下特點：
高速啟動下的超高循環(huán)壽命
Cv 范圍從 0.27 至 1.7
使用熱動元件時，全浸沒溫度高達 392°F (200°C)
適合于采用標準 316L VIM-VAR 不銹鋼閥體的 UHP 應用
模塊化表面安裝、卡套管對焊和 VCR® 端接
電子或光學執(zhí)行機構位置傳感選購件
ALD 隔膜閥具有超長的使用壽命、高速的啟動和高達 0.62 的流量系數(shù)，與熱執(zhí)行機構、位置傳感器和電磁閥配合使用，可在原子層沉積應用場合實現(xiàn)較好的性能。
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