應(yīng)用:

• 無塵室
• 卓越的伸展距離
  單個(gè)的NT系列手臂可以伸展到四個(gè)FOUP。選配的線性軸可以增加FOUP*多到五個(gè)。
  高吞吐量
  標(biāo)準(zhǔn)NT機(jī)器人的吞吐量是用校準(zhǔn)器280晶圓每小時(shí)（WPH）與不用校準(zhǔn)器400WPH。可用選配的抓手，增加吞吐量到700WPH。
  SEMI F47合規(guī)
  NT型號(hào)可以瞬時(shí)響應(yīng)電波動(dòng)，如電壓下降，并且在電壓恢復(fù)時(shí)自動(dòng)恢復(fù)運(yùn)行。
  SEMI S2合規(guī)
  NT型號(hào)可以滿足對環(huán)境和人身安全的特殊考慮。
  碰撞檢測
  軟件和硬件組件都配備有碰撞檢測功能，以減少碰撞所造成精密、專用設(shè)備的損壞。
  懸掛式安裝
  NT620型號(hào)具有吊裝規(guī)格設(shè)計(jì)，用于在化學(xué)液體環(huán)境中使用，同時(shí)滿足ISO1級(jí)的要求。
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