高純單級大流量減壓閥
膜片與閥體完全金屬密封
平衡提升閥設計
同中心雙回旋金屬膜片設計,保證高精度并能夠大幅提升循環(huán)周期壽命
電子拋光 10 Ra
Cv=1.0, 1.8(optional)
入口壓力: 500, 3000psig
出口壓力: 0-25, 0-50, 0-100, 0-150, 0-200psig
介質接觸部件材料：
閥體：316 不銹鋼 或 銅
膜片：316 不銹鋼
閥座：Teflon (500psig) / CTFE (3000psig)
閥帽：鍍銅鎳
加固部件：S21800合金（具有高強度高抗腐蝕強度）
其它部件：316 不銹鋼
*大漏率：＜2 * 10-8 atm cc/sec He
推薦流量: 0~550slpm / 0~900slpm (Cv=1.8) |
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