MFS2200D
實現潔凈室內多層第6代超大型液晶玻璃基板箱體內的高速搬運!
大型液晶玻璃基板搬運機器人
負載:50KG
動態范圍:1780mm
控制柜:DX100
用途:搬運、潔凈室
適用于第6代(1500*1850mm)超大型液晶玻璃基板的高速搬運。
高速、穩定搬運,提高生產效率。
高度柔性動作,大幅度削減配套設備費用。
長期保持高潔凈度,降低運營成本。
大幅縮短生產線建立時間。
項目 |
規格 |
名稱 |
MOTOMAN-MFS2200D-3600 |
機型 |
YR-MFS050D-A00 |
構造 |
水平多關節形(6個自由度) |
負載 |
50kg/手臂 |
重復定位精度*1 |
±0.2mm |
動作范圍 |
U軸(上下軸) |
3600mm |
S軸(回轉軸) |
-180.5°~+180.5° |
L,R軸(前后軸) |
-1780mm~+1780mm |
左右運作 |
-50mm~+50mm |
扭動運作 |
-6°~+6°(上下軸100~1750mm范圍)
-0.5°~+0.5°(以上范圍以外) |
*大速度 |
U軸(上下軸) |
950mm/s |
S軸(回轉軸) |
1.57rad/s,90°/s |
L,R軸(前后軸) |
*大3600mm/s |
容許力矩 |
L,R軸(前后軸) |
353N·m |
容許慣性力矩(CD2/4) |
L,R軸(前后軸) |
71kg·m2 |
標準噴涂色 |
孟塞爾munsell N9.5 |
本體質量 |
2430kg |
潔凈度*2 |
ISO4 |
安置環境 |
溫度 |
15~25°C |
濕度 |
20~80%RH(不結露) |
振動 |
4.9m/s2以下 |
其他 |
·環境沒有引火性及腐蝕性氣體,液體
·遠離水
·遠離電子噪音源
·安裝機器人水平面水平度在0.5mm以下 |
電源容量*3 |
12.0kVA |
*1:依據JIS B8432標準
*2:潔凈度依據ISO-14644標準。在0.4m/s以上的向下流風速環境下,來確保工件搬運面以上潔凈度。
*3:根據用途、作業形式會有所不同。