激光干涉儀是一種以波長作為標準對被測長度進行測量的儀器。激光干涉儀是20世紀60年代末期問世的一種新型的測量設備，由美國HP公司研制成功并于1970年投入市場，隨即受到了相關行業特別是機床制造業的重視，其主要在：線形、角度、垂直度、直線度、平面度等方面上應用。隨著激光干涉儀測量技術的不斷提高，測量軟件的不斷開發其測量范圍越來越廣泛，特別是在測量數控機床位置精度方面用途*為廣泛。 

激光干涉儀功能：

激光干涉儀是檢定數控機床、坐標測量機位置精度的理想工具，可按照規定標準處理測量數據并輸出誤差曲線，為數控機床的誤差 修正提供可靠依據，現場使用尤為方便。

激光干涉儀配有各種附件，可測量小角度、平面度、直線度、平 行度、垂直度等形位誤差。

激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器，可直接用于高精度、大 尺寸的動態位移測量系統。

激光干涉儀具有對光柵、磁柵、線紋尺、感應同步器等精密測量 元件的檢測和刻劃功能，可按預定的間距自動完成檢測和刻劃定位。

激光干涉儀執行標準：

 

SJ6000激光干涉儀技術指標：

      系統性能

²    測量方式：單頻

²    穩頻精度：0.05ppm

²    動態采集頻率：50 kHz

²    預熱時間：約6分鐘

²    工作溫度范圍：(0~40)℃

²    環境溫度范圍：(0~40)℃，環境濕度：(0~95)%RH

²    存儲溫度范圍：(-20~70)℃

      環境補償示值誤差

²    空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

²    材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

²    空氣濕度傳感器：±6%RH  (0~95) %RH

²    大氣壓力傳感器：±0.1kPa

      線性測量

²    測量距離：(0~40)m

²    測量精度：0.5ppm (0~40)℃

²    測量分辨力：1nm

²    測量*大速度：4m/s

      角度測量

²    軸向量程：(0~15)m

²    測量范圍：±10°

²    測量精度：±(0.04%R)″ (R為顯示值，單位：″)

²    測量分辨力：0.1″

      平面度測量

²    軸向量程：(0~15)m

²    測量范圍：±1.5 mm

²    測量精度：±(0.6%R+0.02 M²) μm  (R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m)

²    基板尺寸：180mm可調，360mm可調

測量分辨力：0.1μm

      直線度測量

²    軸向量程：(0.1~4.0)m

²    測量范圍：±3mm

²    測量精度：±(0.5+0.1%R +0.1M²) μm  (R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m)

²    測量分辨力：0.01μm

      垂直度測量

²    軸向量程：(0.1~3.0)m

測量范圍：±3mm

²    測量精度：±(0.5+0.5%R+0.2M)″  (R為顯示值，單位：″；M為測量距離，單位：m)

²    測量分辨力：0.01μm/m

      回轉軸精度測量

²    角度測量范圍：(0~360)°

²    測量精度：±1″

*高轉速：10rpm

鋰電池供電，藍牙傳輸數據。