可編程控制模塊

多設備雙線 RS-485/MODBUS RTU 通信方式

 

簡易流量控制安裝

在先進的質量流量測量基礎上，Compod™搭配了Sierra的Smart-Trak® 2質量流量計或流量控制器使得設備網絡組態更加方便。通過開源RTU協議，Compod™也可以監控或診斷流量控制器的內部系統參數值。用戶在配備了Compod™后可以對Smart-Trak®質量流量計和控制器進行更復雜的控制，兩路數字輸出和一路模擬輸入可以對以下工藝參數進行配置 

 

      • Gas mixing and blending

      • Batch control

      • Sensor driven leak testing

      • Process monitoring

      • Physical Vapor Deposition (Sputtering)

      • 壓力監控及控制

      • 氣體比率控制

      • 內部閥門性能監測

      • 多報警信號設置

      • 客戶自定義流量啟動停止配置

      • 氣體累計及可調脈沖輸出設置

      • 更多...
產品概述