晶圓定位傳感器 M-DW1

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店鋪基本資料信息

產(chǎn)品詳細(xì)說明

晶圓定位傳感器 M-DW1

采用安全的LED光源的反射型晶圓定位傳感器

UL 、CE 已取得。
CE : EMC指令
UL : Recognition認(rèn)證

特點(diǎn)

以往使用激光的激光式定位傳感器，激光會從加載口內(nèi)側(cè)穿過FOUP直射操作人員，十分危險(xiǎn)。
M-DW1成功使用LED光源。確保操作人員安全。

M-DW1以反射光的位置來檢測，不管反射光量的多少都能檢測出玻璃晶圓。

氮化膜具有可吸收特定波長光的性質(zhì)，吸收的波長因氮化膜的厚度而不同。因此，對于使用單波長激光的傳感器，可能會因光全被吸收而無法檢測。
而LED光源的光具有一定波長段，即使氮化膜晶圓也可準(zhǔn)確檢測。

實(shí)現(xiàn)0.5ms的高速反應(yīng)。兼顧高速反應(yīng)性和高精度。

利用反射光量檢測時(shí)，反射光量和晶圓的邊緣形狀會影響檢測結(jié)果。M-DW1的受光部使用2段受光元件，通過反射光位置而非反射光量進(jìn)行檢測。因此，受晶圓厚度和反射光量的影響較小。

傳感器可以從正前方、右側(cè)、左側(cè)、下方四個(gè)方向引出電纜。可根據(jù)傳感器的設(shè)置情況靈活調(diào)節(jié)。

尺寸為寬度80.6mm×厚度18.3mm×進(jìn)深50mm，質(zhì)量約為75g的小巧、輕盈型。

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