蝕刻液降溫冷卻系統(tǒng)

簡(jiǎn)介

刻蝕機(jī)是制作電路板、刻印微電子元器件的設(shè)備，通過化學(xué)或者物理的方法來蝕刻硅晶圓形成電子元器件圖案。機(jī)器在蝕刻過程中會(huì)產(chǎn)生熱量，從而需要蝕刻液降溫冷卻系統(tǒng)進(jìn)行降溫。刻蝕機(jī)有多個(gè)工作模塊，因此需要多回路的循環(huán)水降溫。我公司為半導(dǎo)體行業(yè)研發(fā)的蝕刻液降溫冷卻系統(tǒng)，助力于國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展，能為國(guó)內(nèi)的半導(dǎo)體芯片制造業(yè)獻(xiàn)出我們現(xiàn)有的技術(shù)和服務(wù)，我們感到無上榮光。

產(chǎn)品特點(diǎn)

1.非標(biāo)可制定：恒溫—恒流—恒壓

2.標(biāo)準(zhǔn)型：智能控制水溫5～30℃±1，

3.非標(biāo)定制型：控制水溫 -50～85℃±0.3；控制水流1～1000L±0.03L；控制壓力0.1～10±0.04Mpa

4.控制器：PCL、觸摸屏，可連接上位機(jī)，遠(yuǎn)程控制及手機(jī)APP控制。

5.機(jī)組俱備八大保護(hù)功能：電源相序保護(hù)裝置、漏電保護(hù)裝置、壓縮機(jī)過載保護(hù)裝置、電圈過熱保護(hù)裝置、高低壓保護(hù)裝置、缺水保護(hù)裝置、冷凍水流保護(hù)裝置、防凍保護(hù)裝置。

制冷原理

壓縮機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)，使低溫低壓的氣態(tài)制冷轉(zhuǎn)為高溫高壓的氣態(tài)制冷劑進(jìn)入冷凝器，冷凝內(nèi)的制冷部份熱量被外置冷卻水或散熱風(fēng)扇排出冷凝器，制冷劑放熱后液化為高溫高壓液態(tài)流出，經(jīng)過干燥過濾器干燥過濾后，流入膨脹閥節(jié)流、降壓，制冷劑液化為低溫低壓的液態(tài)進(jìn)入蒸發(fā)器進(jìn)行熱交換，低溫低壓的液態(tài)冷媒吸收蒸發(fā)器外周圍介質(zhì)（水、油）熱量，吸熱過程中冷媒溫度保持不變，體積發(fā)生變化，吸熱后的低溫壓的液壓制冷劑氣化為低溫低壓的氣態(tài)制冷劑進(jìn)入到壓縮機(jī)，經(jīng)壓縮機(jī)壓縮，被壓縮成高溫高壓的氣態(tài)，進(jìn)入冷凝器，從而實(shí)現(xiàn)制冷循環(huán)的整個(gè)過程。

制熱原理

在制冷原理的基礎(chǔ)上，壓縮機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)，使低溫低壓的氣態(tài)制冷轉(zhuǎn)為高溫高壓的氣態(tài)通過四通閥、儲(chǔ)液罐，制冷劑進(jìn)入冷凝器，冷凝內(nèi)的熱量被利用經(jīng)水水箱加熱，加熱的水可高達(dá)90度，制冷劑放熱后液化為高溫高壓液態(tài)流出，經(jīng)過干燥過濾器干燥過濾后，流入膨脹閥節(jié)流、降壓，制冷劑液化為低溫低壓的液態(tài)進(jìn)入蒸發(fā)器進(jìn)行熱交換，低溫低壓的液態(tài)冷媒吸收蒸發(fā)器外周圍介質(zhì)（水、油）熱量，吸熱過程中冷媒溫度保持不變，體積發(fā)生變化，吸熱后的低溫壓的液壓制冷劑氣化為低溫低壓的氣態(tài)制冷劑進(jìn)入到壓縮機(jī)，經(jīng)壓縮機(jī)壓縮，被壓縮成高溫高壓的氣態(tài)，進(jìn)入冷凝器，從而實(shí)現(xiàn)制熱循環(huán)的整個(gè)過程。

機(jī)組性能

蝕刻液降溫冷卻系統(tǒng)采用多個(gè)壓縮機(jī)并聯(lián)設(shè)計(jì)，每組制冷系統(tǒng)自帶一個(gè)的制冷劑回路；制冷系統(tǒng)由PLC控制，逐個(gè)開、關(guān)機(jī)，單機(jī)故障率極低，確保制冷系統(tǒng)有著穩(wěn)定的性能，長(zhǎng)年運(yùn)行情況下之選。

冷卻裝置控溫原理

1.蝕刻液降溫冷卻系統(tǒng)的冷卻水進(jìn)入水端流經(jīng)水路，使冷卻管內(nèi)達(dá)到充足的水流量，改善遠(yuǎn)程等離子發(fā)生器的冷卻效果，減少在內(nèi)表面上生成的氣態(tài)物質(zhì)，有效降低凝結(jié)在晶圓表面的異常顆粒數(shù)量。

2.冷卻裝置的冷卻盤和冷卻板圍成一個(gè)冷卻腔,進(jìn)液口和排液口設(shè)置在冷卻腔的底壁，其中，在冷卻腔內(nèi)設(shè)計(jì)阻礙水流的方式，阻礙冷卻水直接從進(jìn)水口流向排水口,使冷卻液進(jìn)入儲(chǔ)水槽及其周圍區(qū)域流動(dòng)，讓冷卻液盡量流經(jīng)冷卻腔的整個(gè)區(qū)域,而不是直接從進(jìn)液口流向排液口，可讓流入的冷卻液均勻地與冷卻板接觸，進(jìn)行熱交換，冷卻裝置可均勻地推動(dòng)冷卻液流動(dòng)，使冷卻板得到充足的冷量。

3.冷卻結(jié)構(gòu)的離子束刻蝕機(jī)工作臺(tái)，固定在離子束刻蝕機(jī)的真空腔內(nèi)，傳動(dòng)座和基片臺(tái)，在基片臺(tái)與傳動(dòng)座之間形成與通水軸串聯(lián)連通的冷卻水循環(huán)裝置，通水軸分別連通進(jìn)水管路和出水管路而與冷卻水道一起形成冷卻水回路，再與蝕刻液降溫冷卻系統(tǒng)的進(jìn)水管及出水管連接形成一個(gè)水循環(huán)冷卻系統(tǒng)，使溫度控制在實(shí)用工況的溫度值，確保有效基片臺(tái)的冷卻效果，提高了離子束刻蝕的均勻性。

產(chǎn)品質(zhì)量

凡是購(gòu)買我公司設(shè)備的，在設(shè)備交付后如發(fā)現(xiàn)設(shè)備的其中一個(gè)零部件為二手偽劣產(chǎn)品的，我公司以假一賠十的方式對(duì)用戶進(jìn)行賠償。在設(shè)備交付后如發(fā)現(xiàn)設(shè)備是以小充大或以次充好，用戶無條件退、換貨，所有費(fèi)用我司承擔(dān)。

技術(shù)參數(shù)