項目簡介 本發明涉及測量氣體流量的集成化的半導體傳感器集成電路。 測量氣體流量的傳感器通常采用已有七十年歷史的“熱絲”裝置，體積小，產量低，價格高，功耗大。于是出現了半導體傳感器。但是，目前已有半導體型流量傳感器，采用雙極型結構。沒有與訊號處理電路做在同一芯片上。與目前成熟的大規模集成電路主流工藝MOS工藝不相一致，因而不利于制成集成化的、帶有訊號處理電路的穩定的半導體傳感器。不利于低成本大批量生產。 本發明的目的是提供一種與目前大規模集成電路主流工藝（N阱）CMOS完全兼容的，帶有訊號處理電路的穩定的氣體流量傳感器。 采用NMOS作差分放大器，CMOS作與處理用的運算放大器，使元件數目減少。采用N阱CMOS工藝可以制備這種集成的流量傳感器而不需要任何附加工藝步驟，從而實現了本發明的目的。 單位名稱 東南大學科技處　 地址 南京市四牌樓2號五四樓一樓　 郵政編碼 210096　 聯系人 未知　 電話 3792652 3792261　 電子郵件 未知　 網址 未知　 所屬地區 江蘇省