一年一度的LED行業盛會"OFweek LED Awards2014行業年度評選"目前企業參評報名已近入尾聲，并即將進入"用戶投票及專家評選階段"（2014年9月15日-2014年10月15日）。OFweek LED Awards評選涵括LED產業鏈的上游至下游，被譽為業界"奧斯卡獎"，影響頗深。該評選由OFweek中國高科技行業門戶主辦、OFweek半導體照明網及OFweek照明網共同承辦，已連續舉辦第四年，是OFweek2014年高科技行業重要的評選活動之一。

此次評選北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司將攜NMC EPEETM 550 PECVD（等離子體增強化學氣相沉積系統）產品參加"最佳LED設備技術創新獎"評選。

北方微電子公司于2013年1月開始布局LED領域的PECVD設備開發，歷經1年時間完成設備開發及優化，于2014年4月形成首臺銷售，5月份客戶端調試，6月初實現量產。6月份第二臺設備同時實現銷售，1個月后實現穩定量產。設備工藝結果能夠滿足客戶不同芯片工藝的需求，生產運行穩定，獲得了客戶的高度認可。

NMC EPEETM 550 PECVD是一款面向LED領域的大產能PECVD設備，適用于LED芯片制造中的保護層、SWE掩膜層、CBL等工藝制程。，可用于SiO2、SiNx、SiONx等高質量薄膜的沉積。該設備具有運行穩定，、維護簡單快捷，產能輸出大，沉積膜層質量優異等特點。機臺運行的主要過程包括：人工手動上片，自動合蓋，執行工藝開始，設備自動按照預設的菜單，完成腔室狀態檢測，薄膜工藝沉積等多項內容。工藝完畢，腔室經充分吹掃后切換至大氣狀態，自動開蓋后，人工下片。重復此循環，進行批量生產。

該設備整機集成度較高，控制系統和Gasbox均集成在主機內，整體占地小，集成度高，維護操作方便；工藝進氣方式為中心進氣、雙層勻流，反應腔為中心下抽結構，能夠形成良好的氣體輸入及分配結構，保證不同片位之間的工藝均勻性；上電極采用陶瓷隔離結構，具有高氣壓和高功率的工藝起輝能力，無工藝打火風險。既能有效提高工藝沉積速率，同時可提高腔室清洗時速率，有利于提升設備產能；針對LED行業主流的2"和4"片，載片臺采用三區加熱方式，內區和中區控制晶片的加熱，外區則在晶片范圍以外實現邊緣保溫效果，從而保證載片臺內良好的溫度均勻性。針對腔室、上蓋及o-ring等位置，添加冷卻結構，控制非加熱部件的溫度，延長部件使用壽命，提高機臺安全性；設備裝片容量61片2"或16片4"或7片6"，無論是目前的小尺寸晶片還是未來的大尺寸晶片，都可以在EPEE550上獲得具有優勢的產能。同時可針對客戶的特殊要求，能夠進行裝片尺寸、數量、排布的定制化；設備具有過渡腔顆粒收集結構（專*技術），收集副產物顆粒，減少對于真空泵組的顆粒污染，延長泵組使用壽命。規、閥安裝口具有防顆粒結構，延長部件壽命，同時均增加維護盲板，便于顆粒清理；設備定期進行在線干法自動清洗，清洗速率快，清洗效果優異，清洗范圍覆蓋上、下電極及腔室側壁，清洗后工藝恢復時間短，可快速轉換為生產模式。

PECVD作為LED領域的制程設備之一，廣泛應用于鈍化層、阻擋層、保護層等工藝，是LED芯片生產中的重要組成部分。目前能夠提供LED領域生產型PECVD設備的廠商主要來自國外，如Ulvac、Oxford、Samco等廠商。存在設備價格昂貴，難以提供穩定、持久的國內售后服務，以及后期新工藝開發的支持力度不夠等缺點。

通過2014年LED市場逐漸趨于火熱的大環境推動，國內主要LED廠商均在擴充產能、提升技術、降低成本。國產LEDPECVD設備的適時推出，將以其優異的機臺性能，更具競爭力的設備產能及使用成本，高效快捷的售后服務，協助客戶在LED領域不斷取得產能、性能、成本方面的競爭優勢，實現設備自身在LED領域更多的市場份額，最終形成與客戶的共同成長與發展。

OFweek LED Awards2014行業年度評選網絡投票階段：9月15日-10月15日。在此期間您可以為您關注的企業及產品投上一票！頁面即將開放敬請關注！